國家首臺套直徑700mm超精密數(shù)控磨床研發(fā)成功
發(fā)布時間:2021-05-24 瀏覽次數(shù)：8576 次
紅馬資本投資企業(yè)——北京博魯斯潘精密機床有限公司（以下簡稱“博魯斯潘”）于2021年5月完成了國內(nèi)首臺套直徑700mm超精密立式柜臺數(shù)控磨床研發(fā)任務(wù)。該款機床是在中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所專家指導(dǎo)下，由博魯斯潘自主研發(fā)，并于2021年5月18日通過國家機床質(zhì)檢驗監(jiān)督中心檢驗，精度0.1~0.2微米，優(yōu)化環(huán)境干擾，可以穩(wěn)態(tài)到0.1微米，達到國際先進水平。該款機床主要用于超精密光學(xué)器件批量化加工，包括光刻機核心的物鏡系統(tǒng)，對我國芯片產(chǎn)業(yè)上游突破國外封鎖具有重要意義，是解決“卡脖子”問題的關(guān)鍵裝備之一。
博魯斯潘董事長吳行飛博士表示：公司專攻光學(xué)、航空航天、汽車等領(lǐng)域的高檔數(shù)控機床，以進口替代為目標(biāo)，目前公司已量產(chǎn)十七軸聯(lián)動、五軸聯(lián)動、鏡面車削等多款高檔產(chǎn)品，質(zhì)量和穩(wěn)定性得到客戶一致認(rèn)可。就該款光學(xué)加工機床，下一個技術(shù)目標(biāo)是突破直徑2000mm，同時精度達到0.05微米的光學(xué)加工，為中國光刻機母機等高端光學(xué)產(chǎn)業(yè)做出貢獻。
